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传感器

适用半导体及电子行业的传感器和指示计

各种压力（供给／排气、大气压恢复、泄漏、清洗）、

真空压以及各种成型载荷的控制（表面、研磨、组装）

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半导体及电子行业用途示例

各种压力（供给／排气、大气压恢复、泄漏、清洗）

真空压以及各种成型载荷的控制（表面、研磨、组装）

各种装置的压力监控（例如蚀刻／CVD等）

1供气压力监控 2气体控制面板内配管泄漏确认

3真空室内真空度到达确认 4真空室内恢复大气压确认

5涡轮泵切换用真空压力确认 6排气处理装置压力监控

压力传感器

VSST(SF/RR/WT/WF) HS1/HV1 VSHS/VSHT VCCP

指示计

VALCOLOR F3(过程输入) VSM3B VMM7(过程输入)

VMM6(过程输入)

清洗水排放压力

压力传感器

VSST(SF/RR/WT/WF) VPRF(模拟输出) VPRF(应变式输出) VF

指示计

VALCOLOR F3(过程输入) VALCOLOR F3(应变片输入) VSM3B

清洗装置真空干燥压力控制

压力传感器

VESW/VESY VPNPR(G)(模拟输出) AS1/AV1 VCCP

指示计

VALCOLOR F3(过程输入) VSM3B

纯水的压力监控

压力传感器

VESV/VESI VESIM□□A VPRF(模拟输出)

指示计

VALCOLOR F8(过程输入) VSM3B VMM7(过程输入)

VMM6(过程输入)

半导体前道工艺研磨时的载荷控制

荷重计

指示计

VALCOLOR F3(应变片输入) VGM VGM2A/B

后道工艺成型时的载荷监控

荷重计

VLC-G811 VLC-G510A VU93

指示计

VALCOLOR F3(应变片输入) VGM VGM2A/B VGM4

各种光盘表面研磨时的载荷控制

荷重计

指示计

VALCOLOR F3(应变片输入) VGM VGM2A/B

各种电子零部件的压力载荷监控

荷重计

VLC-G811 VLC-G510A VU93

指示计

VLGM4 VGM VMM7(应变片输入) VMM6(应变片输入)

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