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透明O圈

O2,Fluorine等离子体环境中有很高的抵抗性和优秀的机械特性

耐高温O圈

耐高温达300℃,通常被用于CVD,ETCH工序中

抗压O圈

可以在300℃的高温下使用,特别在Diffusion,Metal工艺中效果突出

耐等离子O圈

卓越的等离子体耐性,产生最少的粉尘

耐化学性O圈

ETCH,CVD 等工艺在半导体等离子体环境中使用

耐化学性O圈

电磁波障碍部位使用

切断流体和电子物质的接触

抗压O圈

抗多种化学物质,具有良好的机械特性和永久压缩复原率防止Spiral的损伤

抗凝结O圈

不含出振剂,降低工程出现的分区制,低金属离子含量、高热和化学稳定性

北京特仕迪科技发展有限公司
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