透明O圈
在O2,Fluorine等离子体环境中有很高的抵抗性和优秀的机械特性
耐高温O圈
耐高温达300℃,通常被用于CVD,ETCH工序中
抗压O圈
可以在300℃的高温下使用,特别在Diffusion,Metal工艺中效果突出
耐等离子O圈
卓越的等离子体耐性,产生最少的粉尘
耐化学性O圈
ETCH,CVD 等工艺在半导体等离子体环境中使用
电磁波障碍部位使用
切断流体和电子物质的接触
抗多种化学物质,具有良好的机械特性和永久压缩复原率防止Spiral的损伤
抗凝结O圈
不含出振剂,降低工程出现的分区制,低金属离子含量、高热和化学稳定性
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