创新干胶防滑垫通过先进的聚合物合成工程和专业的表面图案技术,改变未来的创新处理解决方案。
高级聚合物工程
精密成型切割
微图案化技术
洁净度10级质量控制
可服务应用于按末端执行器类型
-用防滑垫代替传统的弹性体垫
-将防滑垫安装在口袋式未端执行器上
-用防滑垫更换真空吸盘
-将防滑垫附加在边缘握把型未端执行器上
-用防滑垫代替Bemnoulli Pad
按慢性问题的类型
-基板滑动和错位
-在拾取和放置过程中弹出
-低吞吐量
-背面污染-传统弹性体垫寿命短
-静电放电
-高温(~300°C)
-ATM与VTM的处理方式不同
按基板类型划分
-普通硅晶片
-TAIKO晶圆
-弯曲晶圆片-玻璃晶
-圆片-蓝宝石晶圆片
-LT晶圆- sic晶圆-超薄晶圆
-环框晶圆片
-展示玻璃
-光伏电池